出水水质符合我国电子行业要求的超纯水要求的18.2mΩ.cm、15mΩ.cm、2mΩ.cm和0.5mΩ.cm四级。
常用超纯水制备工艺：
1 预处理→反渗透→中间水箱→阳床→阴床→混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水点
2 预处理→一级反渗透→加药机（调节PH）→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
3 预处理→二级反渗透→中间水箱→水泵→EDI设备→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点
4 预处理→二级反渗透→中间水箱→水泵→EDI设备→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水点
